本发明公开了一种乙烯基三氯硅烷的制备方法和装置，制备方法包括：将气态的乙炔与三氯氢硅的混合气从反应塔的塔底通入反应塔，将溶剂与催化剂的混合液从反应塔的塔顶加入反应塔中和所述混合气进行反应，得到塔顶混合物与塔底混合物；将塔底混合物的部分从反应塔的塔顶回流至反应塔，将塔底混合物的部分输送至分离塔中分离得到第一混合物和第二混合物；将第一混合物冷凝得到第一混合液，将第二混合物的部分输送至所述反应塔塔底中；收集塔顶混合物与第一混合液中的乙烯基三氯硅烷。制备方法中通过气液接触的方式反应，可以连续反应，催化剂可循环利用，降低催化剂单耗，减少二次反应的发生，减少副产物占比。