本发明公开了一种低氧含量难熔高熵合金粉末的制备方法，包括如下步骤：对高熵合金粉末原料进行超低温处理后进行高能球磨后进行低温钝化并干燥即得；所述高熵合金粉末原料选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo或W中的至少四种。本发明按照设计的难熔高熵合金体系精确称量金属混合粉末作为原料，并对原料粉末进行了超低温处理，添加无水乙醇在惰性气氛下进行分段高能球磨，前半段采用较大半径研磨球，后半段采用小半径研磨球；为防止高活性元素球磨后由于发热氧化甚至自燃，每段球磨后打开球磨罐前，先对球磨罐进行低温冷处理，随后将降温后的粉末取出，置于真空干燥箱中进行干燥，即得。