一种高功率激光清洗能量分布调制的方法
公开
摘要
本发明公开了一种激光清洗能量分布调制的方法，场镜镜片组中的其中一镜片为摆动片，摆动片可以做中心位置不变的摆动；激光经过该场镜镜片组聚焦靶材表面时，调整摆动片的摆动角度，进而调整激光的扫描幅面，使得扫描幅面边缘区域的激光能量弱化。本发明激光清洗能量分布调制的方法，通过偏转电机保持最大角度扫描激光，而场镜内摆动镜片调整摆动，更改激光能量作用幅面，达到激光清洗调制目的，同时实现边缘激光能量弱化调整，解决边缘过烧问题。
基本信息
专利标题 ：
一种高功率激光清洗能量分布调制的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602896A
申请号 ：
CN202210250761.7
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
符永宏华希俊张彦虎汤发全吴禹
申请人 ：
镇江长悦光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市镇江新区丁卯经十五路99号26栋江苏大学工程技术研究院
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN202210250761.7
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00 G02B27/09
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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