一种电容式真空压力传感器
授权
摘要
本申请属于压力传感器技术领域，公开了一种电容式真空压力传感器，包括具有容置腔的壳体，还包括感压膜片及固定电极，感压膜片与固定电极均为圆筒形状，感压膜片设置在容置腔内，感压膜片的两端分别连接容置腔的顶部和底部，感压膜片将容置腔分为测量腔及参考腔，固定电极设置在参考腔内，固定电极与感压膜片组成可变电容器。本申请的电容式真空压力传感器将感压膜片和固定电极均设计为圆筒形状，与现有技术中同等体积的电容薄膜真空计相比，基础电容值得到增大，有效提高了电容式真空压力传感器的灵敏度和精度，降低了电容信号的处理难度。
基本信息
专利标题 ：
一种电容式真空压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114323363A
申请号 ：
CN202210251301.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
CN114323363B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
侯少毅胡强刘乔卫红王凤双黄星星毕诗博
申请人 ：
季华实验室
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号
代理机构 ：
佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许家裕
优先权 ：
CN202210251301.6
主分类号 ：
H01L29/84
IPC分类号 ：
H01L29/84 G01L1/14 G01L9/12
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/14
申请日 : 20220315
申请日 : 20220315
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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