一种反射延迟线型声表面波湿度传感器
公开
摘要
本发明公开了一种反射延迟线型声表面波湿度传感器，所述声表面波湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)上表面设置声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)，声表面波反射栅(4)设置在声表面波叉指换能器(2)的两侧，在声表面波叉指换能器(2)和一侧的声表面波反射栅(4)之间设置镀膜区(3)，镀膜区(3)的表面涂覆敏感层(5)。本发明通过采用耐辐射性强的敏感层结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到5％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测的可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种反射延迟线型声表面波湿度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563471A
申请号 ：
CN202210252230.1
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王文陆铭慧何新军薛蓄峰高旭刘勋丰朱颖
申请人 ：
南昌航空大学
申请人地址 ：
江西省南昌市丰和南大道696号
代理机构 ：
北京方安思达知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈琳琳
优先权 ：
CN202210252230.1
主分类号 ：
G01N29/02
IPC分类号 ：
G01N29/02 G01N29/24 F17D5/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N29/00
利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像
G01N29/02
流体分析
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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