本发明揭示了微调装置调整精度控制方法，至少包括如下步骤：S1，将晶圆置于载物台上；S2，微调装置移动至与载物台共轴的位置；S3，微调装置将晶圆调整至与载物台共轴的位置；S4，通过视觉检测确定晶圆与载物台的位置关系，在确定晶圆与载物台的位置关系不满足要求时，确定晶圆的轴线与载物台的轴线之间的第一距离及晶圆的轴线相对于载物台的轴线的偏移方向；S5，确定微调装置进行后续晶圆调整时所要移动到的调整位置，调整位置是微调装置的轴线由与载物台共轴的位置向纠偏方向移动所述第一距离后所处的位置，纠偏方向与偏移方向相反。本方案能够在后续进行晶圆调整时保证晶圆的位置精度，有利于保证后续加工的稳定实现。