本发明提供了一种基于工艺流程的异常数据检测方法及装置，本方法设置工艺录入接口，通过工艺录入接口录入工控设备的工艺流程，依据工艺流程将工控设备归纳为多个流程链，并在每个流程链末端设置工艺探针；每个工控设备输出一组流程数据，工艺探针记录该流程链中的流程数据并形成流程数据集，工艺探针还记录该流程数据集的执行属性；获取全部工控设备的流程数据集并根据执行属性将流程数据集分类为多个单类流程数据集；批量对比单类流程数据集并获取异常数据。本发明有益效果：通过工艺探针将数据进行属性赋值及属性分类，将分类后的数据进行批量处理以提升数据处理的效率。