本发明公开了一种半导体石英研磨装置，包括：研磨台，所述研磨台上安装有夹持机构和通过升降机构安装在所述研磨台上的研磨机构；所述研磨机构包括：第一箱体，所述第一箱体内开设有储液腔和与所述储液腔连通的动力腔，所述动力腔内安装有驱动机构，所述储液腔内安装有第一搅拌机构，所述驱动机构与所述第一搅拌机构连接；所述储液腔靠近所述夹持机构侧安装有研磨盘，所述研磨盘与所述驱动机构连接，所述研磨盘开设有喷洒口。驱动机构驱动研磨盘进行研磨时，喷洒液实现自动搅拌喷出，避免研磨液在长时间静置的情况下会发生沉淀，且通过喷洒液跟随储料仓的转动同时搅拌扇叶自转，提高了搅拌效果，从而提高了研磨液的均匀度，从而提高了研磨效果。