一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统
公开
摘要
本申请公开了一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统，用以简化位移传感器的结构以及制备难度。本申请实施例提供的一种位移传感器，位移传感器包括：第一基板，位于第一基板一侧的谐振器，以及位于第一基板背离谐振器一侧的电磁场生成部件；谐振器包括至少两个同心导体环；导体环具有一个开口；谐振器用于承载待测物体且与待测物体的位置相对固定，并在平行于第一基板所在平面的表面滑动。
基本信息
专利标题 ：
一种位移传感器、位移检测方法及位移检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608429A
申请号 ：
CN202210269866.7
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
唐国强王亚丽范西超张东东贾孟文张亚飞曲峰李必奇张士桥
申请人 ：
北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区地泽路9号1幢407室
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘红彬
优先权 ：
CN202210269866.7
主分类号 ：
G01B7/02
IPC分类号 ：
G01B7/02 G01B7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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