一种软磁材料和软磁带材的刻蚀方法
公开
摘要
本发明提供了一种软磁材料和软磁带材的刻蚀方法，属于软磁材料刻蚀领域，克服了现有技术中的软磁带材刻蚀精度差的缺陷。本发明软磁材料的刻蚀方法，包括以下步骤：S1、在软磁材料上涂布光刻胶，进行曝光和显影；S2、对S1获得的软磁材料重复交替进行在刻蚀液中浸泡处理和清洗处理，直至软磁材料达到刻蚀深度；S3、去除光刻胶。
基本信息
专利标题 ：
一种软磁材料和软磁带材的刻蚀方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613584A
申请号 ：
CN202210272569.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马原汪家道梁真为
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园1号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
周卫赛
优先权 ：
CN202210272569.8
主分类号 ：
H01F41/00
IPC分类号 ：
H01F41/00 H01F1/147
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体；电感；变压器；磁性材料的选择
H01F41/00
专用于制造或装配磁体、电感器或变压器的设备或方法；专用于制造磁性材料的设备或方法
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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