本公开公开了一种晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备，该方法包括：获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据。以此解决目前对于系统中的闲置数据量超过系统的最大容量时，管理员会整理出所述闲置数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题。