本发明公开了一种激光器的功率监测装置和监测方法，装置包括：激光光源、至少一块凸透镜、光阑、传感器和控制器；激光光源和光阑分别设置在凸透镜两侧的主光轴上，激光光源发出的若干激光光束经过凸透镜透射后，里边部分的激光光束穿过位于光阑中间的过光孔后汇聚于焦点，外围部分的激光光束被光阑的挡光部位遮挡。传感器读取外围部分的光斑半径为x的激光光束的光强IX，求得激光器衰减后的最大光强I₀，控制器将I₀和激光光源的初始未衰减时的最大光强I₁进行比较，根据差值（I₁‑I₀）对激光光源进行补偿，以使得激光光源的最大光强一直维持为初始值I₁。本装置及方法保证了激光器的激光功率一直稳定在初始值状态，提高了激光曝光质量。