本发明公开了一种基于校正扫描图像的平铺式拼接方法，拍摄的标定板原始图像存在畸变，首先将标定板原始图像进行精确的图像校正，得到理想无畸变校正图像；将标定板原始图像中每个坐标的像素值一个个重投影到理想无畸变校正图像对应坐标中，因理想无畸变校正图像的像素中心与理想无畸变校正图像中的标准参考坐标有偏差，故利用逼近算法将像素点相邻位置的像素值计算出一个逼近的像素值；两张互有重叠区域的标定板原始图像，经过图像校正过程后得到成对的待配准图像，成对的待配准图像获得相对图像偏移量；待配准图像的最佳位置遵循超定线性系统的全局优化。在微电子行业中，该方法具有精确、快速且稳定可靠的优点。