硅片倒角砂轮修整装置
公开
摘要
本发明涉及一种硅片倒角砂轮修整装置，属于砂轮修整技术领域，它包括工作台和间隔设于工作台上的工件放置机构和修整机构，所述工件放置机构至少包括竖直向上延伸的放置转轴和用于驱动放置转轴自转的第一驱动件，所述放置转轴顶部形成有供砂轮套装于放置转轴上的固定部，所述放置转轴上设有位于固定部下方的对槽辅助部，所述修整机构至少包括能上下升降且能沿放置转轴的径向水平移动的移动部，所述移动部上固定有上下间隔设置的砂轮修整器和对槽检测部。本发明能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。
基本信息
专利标题 ：
硅片倒角砂轮修整装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114619370A
申请号 ：
CN202210377924.8
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-04-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
文东辉程美娇吴晓峰黄笑容徐浩哲汤炉滨傅远韬
申请人 ：
浙江工业大学;浙江中晶科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市拱墅区潮王路18号
代理机构 ：
浙江千克知识产权代理有限公司
代理人 ：
黎双华
优先权 ：
CN202210377924.8
主分类号 ：
B24B53/065
IPC分类号 ：
B24B53/065
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/06
成形砂轮的
B24B53/065
装有与直面形状不同的，如隆起状
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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