胺基硅烷的制备系统和方法
公开
摘要
本发明提供了一种胺基硅烷的制备系统和方法,该胺基硅烷的制备系统包括供料单元、反应单元和后处理单元,供料单元由二烷基胺的供料装置和氯硅烷的供料装置组成;反应单元与供料单元相连,二烷基胺和氯硅烷在反应单元红进行液液反应得到第一产物体系;以及后处理单元,用于提纯第一反应体系中的胺基硅烷。应用本发明的技术方案,在未使用溶剂的条件下,将二烷基胺与氯硅烷进行液液反应制备得到产物体系,再通过提纯得到胺基硅烷。本发明简化了提纯操作,提高了胺基硅烷纯度,能够有效满足半导体领域对于胺基硅烷纯度的要求。
基本信息
专利标题 :
胺基硅烷的制备系统和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114573628A
申请号 :
CN202210384853.4
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-04-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵喜哲常欣袁振军万烨赵雄李圆晓王芳徐家扬
申请人 :
洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛龙科技工业园牡丹大道西1号
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
白雪
优先权 :
CN202210384853.4
主分类号 :
C07F7/10
IPC分类号 :
C07F7/10 C07F7/20
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环,碳环或杂环化合物
C07F7/00
含周期表第4或14族元素的化合物
C07F7/02
硅化合物
C07F7/08
具有1个或更多的C-Si键的化合物
C07F7/10
含有氮的
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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