本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆中转装置。该中转装置包括传输台以及用于输送晶圆的输送板，传输台内设置有传输腔，传输台设置有和传输腔相通的进料口以及出料口，进料口上设置有可开启的进料阀门，出料口设置有可开启的出料阀门；输送板设置在传输腔内，输送板通过驱动机构可在进料口以及出料口之间往返移动，驱动机构包括主动轮、从动轮、齿条，主动轮和从动轮传动连接，传输板设置在齿条上，齿条分别和主动轮和从动轮啮合传动。本申请的中转装置的输送板的驱动结构简单可靠，能满足快速测试切换功能，以提高晶圆的传输中转效率，具有很好的实用性。