一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法
公开
摘要
本发明公开了一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法,所述一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统包括激光装置、气体传感器和输出装置,气体传感器具有进气孔和出气孔,内部设置音叉,音叉的两叉臂中间左侧设置第一准直器,右侧设置第二准直器,音叉的叉底右侧设置第三准直器,左侧设置第四准直器,音叉的叉底通过化学蚀刻去除金属薄膜,第一准直器和第四准直器皆与激光装置相连,第二准直器通过光纤连接第三准直器,气体传感器的输出端连接输出装置,第一准直器与音叉之间设置声波增强结构,第二准直器与音叉之间设置声波增强结构,本发明结构简单合理,可进一步提高气体的检测精度。
基本信息
专利标题 :
一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114594053A
申请号 :
CN202210445884.6
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2022-04-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王宗良赵晶毕少强付玉龙张恒彪
申请人 :
聊城大学
申请人地址 :
山东省聊城市东昌府区柳园街道聊城大学
代理机构 :
济南克雷姆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张祥明
优先权 :
CN202210445884.6
主分类号 :
G01N21/17
IPC分类号 :
G01N21/17 G01N21/31
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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