一种负压装置及离子束抛光机
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种负压装置及离子束抛光机，涉及高端精密装备加工领域，解决了现有离子束抛光机在抛光精密工件时表面产生缺陷的问题，其技术方案要点是：一种用于在离子束周边形成负压区的负压装置，所述离子束由离子束抛光机的离子源生成；所述负压装置包括负压罩，所述负压罩用于设置在离子束周边。达到消除或减少精密工件麻点缺陷的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种负压装置及离子束抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114536113A
申请号 ：
CN202210451933.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-04-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
范朦王玉鲁蒋毅杨龙范松如唐育元
申请人 ：
四川欧瑞特光电科技有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市仁寿县视高工业集中区
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
杜梦
优先权 ：
CN202210451933.7
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00 B24B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 1/00
申请日 : 20220427
申请日 : 20220427
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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