双流体系统
授权
摘要
本实用新型提供一种双流体系统，其包含管路框架、供气管路结构、多个喷嘴以及多个液体管路。供气管路结构固定于管路框架并用于引入气体。喷嘴连接于供气管路结构。液体管路分别连接于喷嘴，以将液体提供给喷嘴，借此使喷嘴喷洒出混合有液体与气体的喷雾。本实用新型的双流体系统，因可喷洒出混合有液体与气体的喷雾，所以可在进行蚀刻显影时充分散布到预计要被清除光刻胶上，且在清洗时充分渗透到基板的表面上所残留的光刻胶，以尽量将光刻胶清除，从而避免对于基板的电性产生影响。
基本信息
专利标题 ：
双流体系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220104432.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
CN216673426U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
周坤麟
申请人 ：
叙丰企业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市
代理机构 ：
北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘云贵
优先权 ：
CN202220104432.7
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00 H05K3/26
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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