三氟化氮泄漏浓度检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，属于气体泄漏检测技术领域。本实用新型所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，包括：检测器，包括壳体和设置在壳体上的探头，壳体上设有充电接口，壳体内部设有处理器和发送通信模块，处理器与探头和发送通信模块分别电连接；检测箱，包括箱体，箱体上方转动连接有箱体盖，箱体盖上设有显示屏，箱体上设置有若干用于放置检测器的放置槽，放置槽一侧设有开关，箱体内部安装有控制器和接收通信模块，控制器与处理器之间通信连接；控制器与显示屏和接收通信模块之间分别电连接。本实用新型无需人工暴露在三氟化氮气体环境中，即可检测三氟化氮气体含量，检测结果直观、简洁。
基本信息
专利标题 ：
三氟化氮泄漏浓度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220291312.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-10
授权号 ：
CN216747657U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
曲昆赵金旭曹娅妮李亚楠郭卫洁刘丙德潘波
申请人 ：
乌兰察布南大微电子材料有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区乌兰察布市集宁区商务科技文化中心B区5号楼101
代理机构 ：
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 ：
宫兆俭
优先权 ：
CN202220291312.2
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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