多束金属和气体粒子束发生装置
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
多束金属和气体粒子束发生装置，放电室由金属极板和绝缘片交替迭起构成，金属极板上至少有两个孔，不同金属极板上的孔数相同或不同。该装置可产生多束电子束和金属离子束，处理面积大，被处理材料的表面性能将产生很大的变化，应用范围很广。
基本信息
专利标题 ：
多束金属和气体粒子束发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85100610A
申请号 ：
CN85100610.8
公开（公告）日 ：
1986-08-06
申请日 ：
1985-04-01
授权号 ：
CN1004664B
授权日 ：
1989-06-28
发明人 ：
江兴流
申请人 ：
兰州大学
申请人地址 ：
甘肃省兰州市天水路78号
代理机构 ：
兰州大学专利事务所
代理人 ：
郭书军
优先权 ：
CN85100610.8
主分类号 ：
H01J27/02
IPC分类号 ：
H01J27/02 H01J27/22 H01J37/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源；离子枪
法律状态
1992-08-26 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1990-02-28 ：
授权
1989-06-28 ：
审定
1988-06-08 ：
被视为撤回的申请
1986-08-06 ：
公开
1986-07-16 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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