宽带付立叶变换测微技术
被视为撤回的申请
摘要
本发明涉及激光衍射测量细微物体和图形尺寸的方法。采用宽带付立叶变换镜头研制的激光测微仪可以测量2～200μm的微小尺寸。本发明根据付立叶镜头的设计要求，为使一般镜头用作副变镜头，提出使镜片按要求弯曲的办法，产生一定的球差来抵消衍射中的非线性偏差。用此方法可作出宽带付立叶变换镜头。用此镜头作成的专用激光测微仪，采用了标准光栅校准的方法，可以对2～200μm的物体进行绝对测量，并采用副瓣对管法可进行动态测量，在2～200μm之间的测量范围内能分辨出0.1％的直径变化。
基本信息
专利标题 ：
宽带付立叶变换测微技术
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85109412A
申请号 ：
CN85109412
公开（公告）日 ：
1987-07-08
申请日 ：
1985-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马华锦
申请人 ：
西北电讯工程学院
申请人地址 ：
西安市太白路2号
代理机构 ：
电子工业部专利服务中心
代理人 ：
王品华
优先权 ：
CN85109412
主分类号 ：
G01B9/00
IPC分类号 ：
G01B9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
法律状态
1990-04-25 ：
被视为撤回的申请
1988-02-17 ：
实质审查请求
1987-07-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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