装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪
专利权的终止
摘要

装有消色差波片的光谱椭圆偏振仪是偏振光计量仪器,用来测量多种波长下薄膜的折射率n(λ)。膜厚d或吸收系数k(λ)。装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪与其它椭圆偏振仪、光谱椭圆偏振仪所不同的特征是装有做为消色差λ/4波片的菲涅尔棱镜(斜方棱镜),菲涅尔棱镜是装在起偏器和供装被测薄膜样品的可调平台之间,光束入射的棱镜表面与入射的光束相垂直,它的位相延迟量在光谱范围内的名义值是90℃。

基本信息
专利标题 :
装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN85200356.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
1985-04-01
授权号 :
CN85200356U
授权日 :
1985-09-10
发明人 :
哈流柱
申请人 :
北京工业学院
申请人地址 :
北京市西郊白石桥路7号
代理机构 :
北京工业学院专利代理事务所
代理人 :
张朝元
优先权 :
CN85200356.0
主分类号 :
G01J4/00
IPC分类号 :
G01J4/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J4/00
测量光的偏振
法律状态
1989-12-13 :
专利权的终止
1986-01-08 :
授权
1985-09-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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