多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法
授权
摘要
本发明公开了一种多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法。本发明采用多通道偏振器阵列同时获取不同偏振态信号，不同偏振态信号通过光纤阵列耦合器与光纤阵列适配器并行传送到多通道光谱仪中，各通道偏振信号经多通道光谱仪分光在二维面阵列探测器形成多偏振态的光谱分布，再通过傅里叶分析方法对多偏振态光谱信号进行数据处理获得椭偏参数。本发明的系统和方法克服了利用机械运动部件传动进行椭偏光谱测量的缺点，能实时快速地获取椭圆偏振光谱以及样品的其它材料参数。
基本信息
专利标题 ：
多偏振通道面阵列探测的椭圆偏振光谱获取系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110411952A
申请号 ：
CN201910633212.6
公开（公告）日 ：
2019-11-05
申请日 ：
2019-07-15
授权号 ：
CN110411952B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
郑玉祥涂华恬陈良尧张荣君王松有李晶杨月梅于宏柱
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 ：
上海正旦专利代理有限公司
代理人 ：
陆飞
优先权 ：
CN201910633212.6
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2019-11-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20190715
申请日 : 20190715
2019-11-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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