基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
实质审查的生效
摘要
椭圆偏振仪包括聚焦系统，该聚焦系统使用测量斑的图像确定用于椭圆偏振仪的最佳焦点位置。聚焦信号通过在由偏振器分析信号之前分离椭圆偏振仪测量斑来产生，从而避免对具有调制强度的该斑进行成像。该聚焦信号在传感器阵列上成像，并且基于该斑在该传感器阵列上的该位置，可以确定该椭圆偏振仪的该焦点位置。单个图像可用于确定该椭圆偏振仪的该焦点位置，从而允许实时聚焦位置测量。
基本信息
专利标题 ：
基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114467017A
申请号 ：
CN202080069846.4
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·F·莱索因
申请人 ：
昂图创新有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京市汉坤律师事务所
代理人 ：
王其文
优先权 ：
CN202080069846.4
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G02B27/28 G01N21/01 G01J4/00 G01J3/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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