在偏振分束器以及使用该偏振分束器的系统中的应力双折射补偿...
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摘要

本发明涉及投影系统,所述投影系统使用偏振分束器以将光耦合到成像装置和从成像装置耦合出。所述偏振分束器通常由设置在玻璃盖之间的反射式偏振层形成。位于所述反射式偏振层和所述成像装置之间的玻璃盖中的应力双折射会降低所述投影系统的图像对比度。使用设置在所述玻璃盖和所述成像装置之间的四分之一波延迟元件至少部分地补偿所述双折射。这允许所述偏振分束器使用由具有比以前更高的应力光学系数的玻璃材料形成的所述玻璃盖,而同时仍保持高图像对比度。

基本信息
专利标题 :
在偏振分束器以及使用该偏振分束器的系统中的应力双折射补偿的装置和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101147095A
申请号 :
CN200680009591.2
公开(公告)日 :
2008-03-19
申请日 :
2006-03-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
大卫·J·W·奥斯吐恩查尔斯·L·布鲁佐内马家颖
申请人 :
3M创新有限公司
申请人地址 :
美国明尼苏达州
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
顾红霞
优先权 :
CN200680009591.2
主分类号 :
G02B27/28
IPC分类号 :
G02B27/28  G02B5/30  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/28
用于偏振
法律状态
2010-05-19 :
授权
2008-05-14 :
实质审查的生效
2008-03-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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