四探针头
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种供半导体材料测量电阻率用的精密四探针头，采用简易的定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构，并辅以上下模精密固定探针的浇注方法，使探针的游移误差达到≤±0.5％的高精密要求。采用铍青铜的平面弹簧片和螺旋弹簧圈作为探针弹性元件，可保持与探针有三点弹性接触的良好电接触和弹性恒压，易于更换探针，采用此结构的探针头其制作容易、定位精确、产品一致性好，成本降低15倍，针头质量满足测量要求。
基本信息
专利标题 ：
四探针头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN85201272.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1985-04-22
授权号 ：
CN85201272U
授权日 ：
1986-02-19
发明人 ：
曾南珍伍乃文阎雅新王世进
申请人 ：
广州半导体材料研究所
申请人地址 ：
广东省广州市沙河东莞庄
代理机构 ：
广东省专利事务所
代理人 ：
李志明
优先权 ：
CN85201272.1
主分类号 ：
G01R27/14
IPC分类号 ：
G01R27/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
G01R27/14
通过测量从一基准源所得到的电流或电压来测量电阻值
法律状态
1991-12-25 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1986-09-03 ：
授权
1986-02-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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