无接触高分辨率扫描式激光轮廓仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
新的无接触高分辨扫描式数光轮廓仪。以两束编振方向正交且同轴的激光束作为干涉仪的两个臂，用本发明的方法使其中一束成为直径较大的平行光束。另一束则会聚咸很小的光点，一齐落到被测表面上。测量分辨率达到1■，若被测表面反射性能良好可做到0.1■。适用于测量各种金属与非金属的精细表面轮廓形状，如高级镀模光学表面，大功率激光器的金属反射镜。x射线天文装置的反射面，硅片材料表面，超大规模集成电路，校对轮廓仪的精细标准块等。
基本信息
专利标题 ：
无接触高分辨率扫描式激光轮廓仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86106872A
申请号 ：
CN86106872.6
公开（公告）日 ：
1988-05-11
申请日 ：
1986-10-27
授权号 ：
CN1016274B
授权日 ：
1992-04-15
发明人 ：
周肇飞
申请人 ：
成都科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市东城区一环路南一段24号
代理机构 ：
成都科技大学专利代理事务所
代理人 ：
肖浚泽
优先权 ：
CN86106872.6
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
1994-12-07 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-01-13 ：
授权
1992-04-15 ：
审定
1990-02-14 ：
实质审查请求
1988-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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