电容压力传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种可成批生产的电容压力传感器使检测元件和引线与压力媒质隔离并提供应力隔离。该传感器制成多层夹心结构。一个硅晶片的一侧蚀刻成一系列腔形成挠曲膜片，其一个表面作为电容器极板。一个玻璃层在两侧金属化并有孔。玻璃层粘接到晶片上形成数微米的电容间隙。该组件夹在两个附加层之间，在真空中粘接。将四层夹心结构裁成单个传感器。初始组件可制成一定形状以衰减膜片的响应次数，并在高频输入时降低虚假信号。
基本信息
专利标题 ：
电容压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87104354A
申请号 ：
CN87104354.8
公开（公告）日 ：
1988-01-20
申请日 ：
1987-06-22
授权号 ：
CN1011074B
授权日 ：
1991-01-02
发明人 ：
汤马斯·A·克纳施特罗格·L·弗里克
申请人 ：
罗斯蒙德公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
刘建国
优先权 ：
CN87104354.8
主分类号 ：
G01L9/12
IPC分类号 ：
G01L9/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/12
利用电容量变化的
法律状态
2001-08-15 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-08-14 ：
授权
1991-01-02 ：
审定
1989-10-04 ：
实质审查请求
1988-01-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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