宽量程半导体真空计
公开
摘要
本实用新型公开了一种根据热传导原理和半导体PN结的感温特性而设计的宽量程半导体真空计。它能够实现粗、低、高真空的连续测量，解决了常规的真空测量中的衔接误差问题，减少了测量设备，使用方便。由于在规管中设置了一个补偿二极管，所以测量中不受环境温度变化的影响，测量精度高。在10-10-1帕压强范围内，测量信号达300毫伏以上，从而大大简化了测量线路。
基本信息
专利标题 ：
宽量程半导体真空计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN87200798.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1987-02-05
授权号 ：
CN87200798U
授权日 ：
1987-10-14
发明人 ：
李自鹏钱三德王先路陈立仁黄锡森
申请人 ：
合肥工业大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市屯溪路
代理机构 ：
机械工业部专利代理服务处
代理人 ：
孙文彩
优先权 ：
CN87200798.7
主分类号 ：
G01L21/10
IPC分类号 ：
G01L21/10 G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/10
通过测量介质热导率的变化而测出介质压力的
法律状态
1987-10-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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