一种薄膜真空计
授权
摘要
本实用新型提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本实用新型的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜真空计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922020250.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN210603717U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
张心强靳毅齐英蔺宇陈林
申请人 ：
川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市昌平区振兴路36号5楼
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦广成
优先权 ：
CN201922020250.2
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00 G01L19/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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