一种电容式薄膜真空计
授权
摘要
本实用新型涉及一种电容式薄膜真空计，包括壳体、检测膜片、固定基板和固定极板，壳体内具有一容置空间，检测膜片固定在容置空间内并将容置空间分割成检测腔和真空腔。固定基板固定在真空腔内，固定基板朝向检测膜片的一面固定设置有两个固定极板，两个固定极板左右对称且间隔布置。本实用新型中将两个固定极板按照左右对称且间隔分布的方式设置，使得两个固定极板都有一部分面积在检测膜片中心变形量最大区域，因而能使两个ΔC最大化，进而增加了测量的准确度和稳定度，提高了真空计的测量精度和测量范围，同时提高真空计的灵敏度和分辨率。
基本信息
专利标题 ：
一种电容式薄膜真空计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920438817.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-02
授权号 ：
CN209470807U
授权日 ：
2019-10-08
发明人 ：
朱泓唐云剑
申请人 ：
上海振太仪表有限公司
申请人地址 ：
上海市普陀区同普路1358弄1号楼
代理机构 ：
北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩国胜
优先权 ：
CN201920438817.5
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2019-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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