一种双极电容式真空计及其对应的测量电路
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摘要

本实用新型涉及真空计计量领域,尤其涉及一种双极电容式真空计及其对应的测量电路,其包括壳体、膜片、固定基板和固定电极;膜片固定安装在壳体内,膜片将壳体内分割成两部分,一侧为真空腔,另一侧为检测腔;固定基板固定安装在真空腔内,固定基板上安装有固定电极,当膜片受力发生形变时,固定电极上的电容会发生变化,通过检测电容变化即可得到检测腔内的压力大小;固定电极包括环形电极和圆形电极,圆形电极位于环形电极内,且圆形电极和环形电极之间有间隔,将固定电极分为环形电极和圆形电极,能够有效地提高真空计的精度;测量电路对环形电极和圆形电极上的电容变化进行检测和处理后输出一个正弦波,测量正弦波的大小即可得到压力的大小。

基本信息
专利标题 :
一种双极电容式真空计及其对应的测量电路
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921249302.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-02
授权号 :
CN210464785U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
付继辉
申请人 :
上海振太仪表有限公司
申请人地址 :
上海市普陀区同普路1358弄1号楼
代理机构 :
北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩国胜
优先权 :
CN201921249302.7
主分类号 :
G01L21/00
IPC分类号 :
G01L21/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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