一种高灵敏度电容薄膜真空计
授权
摘要
本实用新型涉及一种高灵敏度电容薄膜真空计，包括外壳、检测膜片和固定极板，外壳的内部为空腔结构，检测膜片固定在外壳的内部，并将外壳的内部分割成真空腔室和检测腔室。固定极板固定在真空腔室内，固定极板与检测膜片相对设置的一面为朝远离检测膜片的一侧凹设的弧面，弧面上镀设有导电材料。其中，检测膜片为可动极板，可动极板与固定极板组成一可变电容器。本实用新型将固定极板与检测膜片相对设置的一面设计成弧面，使得边缘效应大大减小，电容的有效面积大大增加，提高了有效信号量，进而大大提高真空计的灵敏度和分辨率。
基本信息
专利标题 ：
一种高灵敏度电容薄膜真空计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920438798.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-02
授权号 ：
CN209470806U
授权日 ：
2019-10-08
发明人 ：
唐云剑
申请人 ：
上海振太仪表有限公司
申请人地址 ：
上海市普陀区同普路1358弄1号楼
代理机构 ：
北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩国胜
优先权 ：
CN201920438798.6
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2019-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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