镜面平整度测试仪
专利权的终止
摘要
镜面平整度测试仪，依据于非相干系统的掠射式镜面莫尔轮廓法原理设计而成。它具有光源、带有间隙基准的光栅、测量台及成象系统。它只需要一块相当精度的特殊的带有间隙基准的平面光栅及简单的面光源，即可使仪器在观测范围的全场上达到微米级精度。把半导体工业用的硅片及家用冰箱压缩机中的阀片等轻而薄的平镜面放于光栅支承点上，让其处于自由状态，即可以测定它与支承点接触一侧的全场的面型平整度。
基本信息
专利标题 ：
镜面平整度测试仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN87210130.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1987-07-10
授权号 ：
CN87210130U
授权日 ：
1988-06-15
发明人 ：
袁玉麟
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市玉泉
代理机构 ：
浙江大学专利代理事务所
代理人 ：
张法高
优先权 ：
CN87210130.4
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
1990-12-19 ：
专利权的终止
1989-06-28 ：
授权
1988-06-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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