双向微动调心装置
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
本实用新型是一种用于高精度测量的双向微动调心装置，由调节螺杆，弹性元件，立柱，上台面，底座组成。以弹性元件的弹性比作为其传动比，用刚度很小的弹性元件推动刚度相对很大的立柱，利用立柱的弹性形变，达到调节的目的，采用三根或三根以上立柱，避免调节中的倾斜误差，并使二个方向的调节相互独立成为可能。本实用新型具有结构简单，调节方便，成本低，测量精度高，行程大，灵敏度可变的优点。
基本信息
专利标题 ：
双向微动调心装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN87217516.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1987-12-30
授权号 ：
CN87217516U
授权日 ：
1988-11-30
发明人 ：
王江邹自强
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市中国科学技术大学科研处
代理机构 ：
中国科学院合肥专利事务所
代理人 ：
赵乌兰
优先权 ：
CN87217516.2
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
1993-07-28 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1989-09-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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