盘形分子泵动静盘片匹配方式及其设备
视为撤回的专利申请
摘要
一种用于盘形分子泵的动、静盘片的匹配方式及其设备，属于流体泵领域。当一盘片上开有某一曲线的抽气沟槽时，另一盘片上则开有与该曲线成正交的曲线的抽气沟槽，此匹配方式可使运动表面传递给气体分子的动量方向始终与抽气方向保持一致。应用此匹配方式制成的盘形分子泵改善了现有盘形分子泵的抽气性能，提高了运行安全可靠性。本发明可广泛应用于电子器件的制造，表面分析，薄膜技术，等离子体技术，加速器，电子显微镜等领域。
基本信息
专利标题 ：
盘形分子泵动静盘片匹配方式及其设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039882A
申请号 ：
CN88104482.2
公开（公告）日 ：
1990-02-21
申请日 ：
1988-07-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
屠基元王孝珍朱岳
申请人 ：
中国科学院北京真空物理实验室;复旦大学
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村2724信箱
代理机构 ：
中国科学院专利事务所
代理人 ：
关玲
优先权 ：
CN88104482.2
主分类号 ：
F04D29/30
IPC分类号 ：
F04D29/30 F04D29/44
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D29/00
零件、部件或附件
F04D29/26
专门适用于弹性流体的转子
F04D29/28
用于离心或螺旋离心泵
F04D29/30
叶片
法律状态
1992-01-15 ：
视为撤回的专利申请
1990-02-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
