平面度误差分离法及实时测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种平面度误差分离法及实时测量仪，属于机械量形位误差测量领域。本发明为高精度大平面平面度测量提供一种有效的、可行的新方法。这种方法用五个传感器按特殊分布，可以有效的分离出工作台运动平面的误差及支承测头导轨形位误差及弯曲变形误差，所测数据直接转入计算机用数据处理方法能迅速得到工件的平面度值，且能把工件的表面形状给出，从而大大提高了测量精度，同时实现了自动实时测量。
基本信息
专利标题 ：
平面度误差分离法及实时测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1042232A
申请号 ：
CN88107139.0
公开（公告）日 ：
1990-05-16
申请日 ：
1988-10-27
授权号 ：
CN1017554B
授权日 ：
1992-07-22
发明人 ：
刘兴占何真梁晋文
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN88107139.0
主分类号 ：
G01B7/34
IPC分类号 ：
G01B7/34
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/315
••用于检测轮子的准直
G01B7/34
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
1994-12-07 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-03-17 ：
授权
1992-07-22 ：
审定
1990-05-16 ：
公开
1989-04-05 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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