新型水平滑动石墨舟
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
一种新型水平滑动石墨舟，属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进，其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出，目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合，以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明，这种舟生长出的外延片表面光亮、结线平整、晶格匹配，从而大大提高了光电器件的成品率。
基本信息
专利标题 ：
新型水平滑动石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88201086.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-02-05
授权号 ：
CN88201086U
授权日 ：
1988-08-24
发明人 ：
孙成城薛保兴何淑芳
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN88201086.7
主分类号 ：
H01L21/208
IPC分类号 ：
H01L21/208 C30B19/00 C30B35/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/20
半导体材料在基片上的沉积，例如外延生长
H01L21/208
应用液体沉积的
法律状态
1991-07-03 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1989-05-10 ：
授权
1988-08-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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