低碳污染SOI石墨加热元件
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种用于区熔再结晶SOI的低碳污染石墨加热元件，由石墨基体和表面覆盖层组成，其特点在于在采用高纯度石墨加工而成的石墨基体表面覆盖一层5～30μm的热解石墨涂层，该涂层可用化学汽相淀积方法获得。这种石墨加热元件的结构简单，稳定性好，在区熔再结晶过程中可以抑制或排除碳对硅片的污染。由于制造和使用方便，因而有利于推广应用。
基本信息
专利标题 ：
低碳污染SOI石墨加热元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88211152.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-03-18
授权号 ：
CN88211152U
授权日 ：
1988-11-30
发明人 ：
郑其经阎宁新
申请人 ：
南京工学院
申请人地址 ：
江苏省南京市四牌楼2号
代理机构 ：
南京工学院专利事务所
代理人 ：
楼高潮
优先权 ：
CN88211152.3
主分类号 ：
H05B3/14
IPC分类号 ：
H05B3/14
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法律状态
1993-08-11 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1989-10-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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