用于通过氧化反应破坏氢化物的催化剂及其应用
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是关于用于破坏毒性流体的催化剂及其应用。用该催化剂可去除从外延炉或CVD气相沉积容器中产生的残留气中的硅烷、磷化氢、胂等氢化物。在其应用过程中使这些化合物与含有反应剂如氧化铜和反应促进剂如二氧化锰的固体氧化催化剂接触，挥发性氢化物先吸附在催化剂表面，然后在促进剂作用下与反应剂反应，生成惰性物质。为此，含氢化物的流体应以小于或等于60u■r-1(每小时体积流速)的流速，通过填满氧化催化剂的吸附柱进行处理。
基本信息
专利标题 ：
用于通过氧化反应破坏氢化物的催化剂及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1040514A
申请号 ：
CN89102510.3
公开（公告）日 ：
1990-03-21
申请日 ：
1989-03-30
授权号 ：
CN1011859B
授权日 ：
1991-03-06
发明人 ：
简马克·西雷索尔
申请人 ：
乔治·克劳德方法的研究开发空气股份有限公司
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN89102510.3
主分类号 ：
B01D53/36
IPC分类号 ：
B01D53/36 B01D53/34 B01J23/84 B01J23/80 B01J23/72
法律状态
1993-07-28 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-11-13 ：
授权
1991-03-06 ：
审定
1990-03-21 ：
公开
1989-11-01 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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