曝光印相用原版的制作方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

一种曝光印相用原版的制作方法,当在由面向或紧帖在板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜而进行配置的第1、第2原版所组成的一对原版上形成同轴的负图形之际,就第1原版而言从用光绘图器绘出的负图形形成正或负图形,并通过紧帖印相从此图形形成原版的负图形;同时就第2原版而言,使用正型干板从用光绘图器绘出的负图形直接形成原版的负图形。此方法可用于制造高析象度的彩色显象管用荫罩。

基本信息
专利标题 :
曝光印相用原版的制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1038357A
申请号 :
CN89102822.6
公开(公告)日 :
1989-12-27
申请日 :
1989-04-24
授权号 :
CN1028916C
授权日 :
1995-06-14
发明人 :
田中裕工藤诚
申请人 :
东芝株式会社
申请人地址 :
日本神奈川县川崎市
代理机构 :
上海专利商标事务所
代理人 :
颜承根
优先权 :
CN89102822.6
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  H01J9/14  H01J29/07  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2009-06-24 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-04-24 :
其他有关事项
1996-11-13 :
著录项目变更
变更事项 : 申请人
变更前 : 欧文斯·科尔宁格费伯格拉斯公司
变更后 : 欧文斯-科尔宁格公司
1995-06-14 :
授权
1989-12-27 :
公开
1989-11-29 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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