一种水基电子清洗制剂
专利申请的视为撤回
摘要
一种水基电子清洗制剂，属于电子工业清洗生产技术领域，它是以乙二胺四醋酸钠和可溶性氟化物为主剂，以醇醚和酚醚表面活性剂为清洗剂，以胺皂和酰胺为增效剂，醇类和去离子水为溶剂，各组分的重量百分比为：乙二胺四醋酸钠0.1-1％、醇醚表面活性剂6-15％、酚醚表面活性剂3-5％、烷基醇酰胺3-5％、三乙醇胺油酸皂5-10％、醇类1-5％、可溶性氟化物0.1-1％、去离子水58-81.8％、用这种制剂对半导体工艺中的材料和器件，薄膜工艺中的玻璃和金属的表面清洗，使之有更好的清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
一种水基电子清洗制剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1051756A
申请号 ：
CN89106854.6
公开（公告）日 ：
1991-05-29
申请日 ：
1989-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙启基丁永发戴群陈子俊
申请人 ：
孙启基
申请人地址 ：
261041山东省潍坊市东风大街43号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN89106854.6
主分类号 ：
C11D3/60
IPC分类号 ：
C11D3/60 C23G5/036
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D3/00
包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分
C11D3/60
配料成分的混合物
法律状态
1993-08-18 ：
专利申请的视为撤回
1991-05-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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