静电驱动双接动梁式力传感器
视为撤回的专利申请
摘要
具有静电驱动系统的双振动梁式的力传感器，它包括一个本体12，该本体包括基本上平行的第一和第二梁20、22，它们的端部是连在一起的，第一和第二电极14、16，相邻于但都不与各自的梁接触；驱动电路18，它产生振荡电压施加到电极上。梁经受静电力使梁在包含两梁的一个振动平面内产生振荡。梁的机械谐振控制谐振频率，该频率里沿梁施加的力的函数。在所述的一个实施例中，驱动装置还可以直接连接到一个梁上。
基本信息
专利标题 ：
静电驱动双接动梁式力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1054485A
申请号 ：
CN90101021.9
公开（公告）日 ：
1991-09-11
申请日 ：
1990-02-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
格拉姆·A·布莱克布赖恩·L·诺林
申请人 ：
标准数据控制公司
申请人地址 ：
美国华盛顿
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
陆立英
优先权 ：
CN90101021.9
主分类号 ：
G01L1/10
IPC分类号 ：
G01L1/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/10
通过测量受应力的振动元件的频率变化，例如，受应力的带的
法律状态
1992-12-02 ：
视为撤回的专利申请
1991-09-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
