本发明主要目的是在渗氮，热喷涂或浸镀等热处理之前清洗和活化金属工件表面，其中去除金属工件表面上的氧化和其它钝态层以及其它外来物质。这种金属工件预处理方法包括在炉中加热金属工件并在该状态下向炉中引入含氟或氟化物的气体以破坏和去除金属工件表面上粘结的外来物质和氧化层并同时形成含氟层。进行热处理如渗氮之前向炉中引入合适气体如H2使含氟层分解并去除。这样就使金属工件露出了其清洁和活化的表面。