一种工件预处理设备
授权
摘要
本实用新型公开一种工件预处理设备，涉及激光器技术领域，以解决现有技术中工件钝化使用气相钝化容易生成较稳定的碳氧化表面层，影响激光器的性能的问题。所述工件预处理设备包括：钝化液容器；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器；与试样容器可断开连接的清洗液供应装置；与试样容器可断开连接的惰性气体供应装置。
基本信息
专利标题 ：
一种工件预处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020989030.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN213388894U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
郭馨江锐王倩周翊赵江山王宇
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN202020989030.0
主分类号 ：
C23C22/73
IPC分类号 ：
C23C22/73 C23C22/77 C23C22/82
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22/00
表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22/73
以工艺为特征的
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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