粒状硅原料供给装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

一种粒状硅原料供给装置包括一料斗(19)、供料器(15)、第一导向管(16)、供料管(19)、壳体(11)、闸阀(18)及第二导向管(21)。供料管(19)布置在第一导向管的下部,能上下运动;壳体(11)包封上述的料斗、供料器、导向管和供料管;闸阀(18)用来关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口;第二导向管(21)布置在腔室(10)的开口中,把粒状硅原料导入坩埚内。

基本信息
专利标题 :
粒状硅原料供给装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1048526A
申请号 :
CN90103348.0
公开(公告)日 :
1991-01-16
申请日 :
1990-07-05
授权号 :
CN1016160B
授权日 :
1992-04-08
发明人 :
毛利吉男
申请人 :
日本钢管株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 :
蔡民军
优先权 :
CN90103348.0
主分类号 :
C03B15/02
IPC分类号 :
C03B15/02  B01J4/00  B65D88/28  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型;玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B15/00
玻璃液的垂直拉引
C03B15/02
板玻璃的拉引
法律状态
1996-08-21 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-01-06 :
授权
1992-04-08 :
审定
1991-01-16 :
公开
1990-11-28 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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