弹性表面波装置
专利权的终止
摘要

一种使用基板4的弹性表面波装置,该基板备有单晶介质2及外延生长在其表面上的压电薄膜3,沿介质2和压电薄膜3的界面形成构成叉指式电极的铝电极5。此铝电极5由在结晶方位方面是在一定方向上取向的铝膜组成,因此可抑制铝电极5的应力迁移,且压电薄膜3在其整个面上都能外延生长。

基本信息
专利标题 :
弹性表面波装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1048636A
申请号 :
CN90103485.1
公开(公告)日 :
1991-01-16
申请日 :
1990-07-06
授权号 :
CN1015041B
授权日 :
1991-12-04
发明人 :
家木英治樱井敦木村幸司
申请人 :
株式会社村田制作所
申请人地址 :
日本京都府
代理机构 :
上海专利事务所
代理人 :
颜承根
优先权 :
CN90103485.1
主分类号 :
H03H9/25
IPC分类号 :
H03H9/25  
法律状态
2010-09-22 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101005913670
IPC(主分类) : H03H 9/25
专利号 : ZL901034851
申请日 : 19900706
授权公告日 : 19920708
2002-04-24 :
其他有关事项
1992-07-08 :
授权
1991-12-04 :
审定
1991-01-16 :
公开
1990-11-21 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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