一种新的激光制氮化硅粉末的方法及装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种激光制备氮化硅粉的方法，及使用该方法制备化硅粉的系统装置。本发明的优点是采用多个不同波段的光源对多种反■体同时■激励。在制备氮化硅粉时，采用红外光紫外光。利用本发明的方法制作的一套激光制氮化硅粉的系统，主要有、光源、供气装置、合成腔、收集装置、测混装置、尾气处理，数据采集与控制等部分。
基本信息
专利标题 ：
一种新的激光制氮化硅粉末的方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1058194A
申请号 ：
CN91101747.X
公开（公告）日 ：
1992-01-29
申请日 ：
1991-03-18
授权号 ：
CN1021808C
授权日 ：
1993-08-18
发明人 ：
李道火王和平仲志英李建国刘昌好赵华珍刘宗才詹合英花春贵左都罗
申请人 ：
中国科学院安徽光学精密机械研究所
申请人地址 ：
230031安徽省合肥市1125信箱
代理机构 ：
中国科学院合肥专利事务所
代理人 ：
周国城
优先权 ：
CN91101747.X
主分类号 ：
C01B21/068
IPC分类号 ：
C01B21/068 B01J19/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B21/00
氮；其化合物
C01B21/06
氮与金属、硅或硼的二元化合物
C01B21/068
与硅
法律状态
2001-05-16 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-08-18 ：
授权
1992-01-29 ：
公开
1991-12-18 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
