一种氮化硅粉末的制备系统，包括上料装置、加热装置和反应装置，所述上料装置包括上料管，在上料管上设置有进料斗；所述加热装置包括加热腔，在加热腔内壁上设置有多个加热源，在加热腔中心设置有输料盘管，所述输料盘管与上料管连通；所述反应装置包括外壳、内芯、连接管、出料管，所述内芯设置在外壳内部，所述内芯包括从上到下依次连通的三个球壳，相邻球壳之间通过缩径部连接，所述连接管的一端与输料盘管的输出端连接，连接管的另一端穿过外壳进入内芯的第一球壳，连接管的末端设置有喷嘴，所述喷嘴的开口向上设置，所述出料管位于第三球壳的底部并穿出外壳。本制备系统具有硅粉加热效率高、反应时间短、反应效率高的特点。